Diener Pico
Pico plasmasystem kan kombineras i olika varianter på ett modulärt sätt. Nedan hittar du en översikt över de vanligaste alternativen med Pico plasmasystem. Pico plasmasystem används främst inom följande sektorer:
- Analytics (SEM, TEM)
- Arkeologi
- Bil
- Forsknings- och utvecklingsavdelningar
- Halvledarteknik
- Liten satsproduktion
- Plastteknik
- Medicinsk teknik
- Mikrosystemteknik
- Sensorteknik
- Sterilisering
- Textilteknik
Plasmaprocess
Grundläggande konfiguration
– Höljena varierar beroende på komponenter/tillval
– Kammarvolym: beroende på version 4 – 15 liters
– Spänning: 230 V för bordsenheter, 400 V / 3 faser för fristående enheter.
Gasförsörjning
- Nålventil
- Mass-Flow-Controller (MFCs)
Vacuumkammare
– Rostfritt stål
rund med täcklock
(ca. Ø 150 mm, L 320mm eller L 600 mm) eller
rektangulär gångjärnsdörr
(ca. W 160 x H 160 x D 325 mm eller 600 mm)
– Aluminium
rektangulär gångjärnsdörr
(ca. Ø 160 mmx160 mm, L 325 mm eller L 600 mm)
– Kvartsglas (UHP)
rund med täcklock eller rektangulär gångjärnsdörr
(ca. Ø 130 mm, L 300 mm eller L 600 mm)
– Borosilikatglas (UHP)
rund med täcklock eller rektangulär gångjärnsdörr
(ca. Ø 130 mm, L 300 mm eller L 600 mm)
Laddas med
Bricka (tillval: vattenkyld), kvartsglasbåt,
roterande trumma för pulver, roterande trumma för bulkmaterial,
aluminiumplatta, platta av rostfritt stål,
platta av borosilikatglas, platta av kvartsglas
Elektroder
– En eller flerskikts
– RIE – elektrod
Styrning
– Halvautomatisk
– Grundläggande PC-kontroll (Microsoft Windows CE)
– Full PC-kontroll (Windows 10 IoT)
Tryckmätning
– Pirani
– Baratron (för korrosiv gasversion)
Timer
– Digital
Generatorer
Frekvenser:
– 40 kHz: effekt 0 – 200 W; 0 – -1000 W
– 100 kHz: effekt 500 W
– 80 kHz: effekt 1000 W
– 13.56 MHz: effekt 0 – 100 W; 0 – 300 W
– 2.45 GHz: effekt 0 – 300 W
Alla generatorer är steglöst justerbara från 0 – 100 %
Vacuumpump
– I olika storlekar och från olika tillverkare (vid behov med aktivt kolfilter)
Fler alternativ
Reservdelsset, tryckmätare, korrosiv gasversion, gasflaska, tryckreducerare, faraday-låda, polymerisationsutrustning, testbläcksats, syregenerator, långsam ventilation av vakuumkammaren, långsam nedpumpning av vakuumkammaren, underhåll/service, dokumentation på riksspråk, installation på plats.
