Plasmageneratorer

Plasmageneratorn är en integrerad del av ett fungerande plasmasystem. Den ideala frekvensen vid vilken generatorn ska köra kan inte generaliseras, eftersom detta beror på den önskade plasmatillämpningen och bör bestämmas individuellt för varje system. I åratal har Diener producerat plasmageneratorer med en frekvens på 40 kHz och 2,45 GHz. På senare tid har Diener också utvecklat plasmageneratorer med en frekvens på 13,56 MHz som kör med en effekt på 100 eller 300 watt.

Fördelarna med 13,56 MHz-generatorn:

• RIE-konfiguration är genomförbar
• Förbättrad homogenitet jämfört med 2,45 GHz-generatorer
• Högre etsningshastigheter jämfört med 40 kHz generatorer
• Enkel installation av roterande trummor av metall
• Anpassad konfiguration och integration av brickor och elektroder (tyvärr kan det vara ganska utmanande ibland)
• Lämplig för halvledarprocesser fram och bak
• Hög avsättningshastighet för plasmapolymerisationsprocesser

De huvudsakliga applikationerna för båda versionerna av denna MHz-generator som nämns ovan är plasmaaktivering, rengöring, etsning, halvledare- (front-end), halvledar- (back-end) applikationer och plasmapolymerisation. Impedansmatchning, som kan göras manuellt eller automatiskt, är en nödvändig komponent i dessa RF-generatorer och ingår alltid.

Manuell matchning innebär att man ställer in inställningarna för framåt- och reservkraft innan varje process startar och manuellt reglerar dessa inställningar med jämna mellanrum genom den inställda plasma-processtiden. Med alternativet automatisk matchning ställs kondensatorerna in automatiskt och justeras sedan och korrigeras automatiskt för ändringar.

Följande alternativ kan också inkluderas: visning av fram- och bakåtström, säkerhetsbrytare (automatisk avstängning) på dörrar och vakuumsäkerhetsbrytare, PC-gränssnitt och kvartsstabiliserad frekvens i enlighet med DIN EN 55011.