Diener Tetra 100
Diener Electronic TETRA 100 plasmasystem finns i många olika konfigurationer.Tetra 100 plasmasystem används främst inom följande sektorer:
- Analys (SEM, TEM)
- Arkeologi
- Fordon
- Biovetenskap
- Elastomer-teknik
- Elektroteknik
- Elektronmikroskopi
- Finmekanik
- Forskning och utveckling
- Halvledarteknik
- Produktion av små serier
- Plastteknik
- Medicinsk teknik
- Teknik för mikrosystem
- Solcellsteknik
- Textil teknologi
Plasmaprocess
Rengöring
Ytaktivering
Etsning
Plasmapolymerisering
Grundläggande konfiguration
– Höljet varierar beroende på komponenter/tillval
– Kammarvolym: beroende på version 80-100 liter
– Strömförsörjning: Spänningsförsörjning 230 V eller 400 V/3 faser
Gasförsörjning
– Massflödesregulator (MFC)
Vakuumkammare
– Rostfritt stål
Rund gångsjärnsdörr
ca ∅ 400 mm, L 625 mm
Rektangulär gångjärnsdörr
(ca B 400 mm x H 400 mm x D 625 mm)
Laddas med
Bricka (tillval: vattenkyld), kvartsglasbåt, roterande trumma för pulver, roterande trumma för bulkmaterial, platt bricka Aluminium, platt bricka rostfritt stål, platt bricka borosilikatglas, platt bricka kvartsglas.
Elektroder
– Elektrod i en eller flera nivåer
– RIE-elektrod
Styrning
– Grundläggande datorkontroll (Microsoft Windows CE)
– Fullständig datorkontroll (Microsoft Windows 10 IoT)
Tryckmätning
– Pirani-sensor
– Kapacitetstryckmätare (för korrosiv gasversion)
Timer
– integrerad i datorn
Generatorer
Frekvenser:
- 80 kHz: effekt 1000-3000 W
- 13,56 MHz: effekt 0 – 300 W; 0 – 600 W; 0-1000 W
- 2,45 GHz: effekt 0 – 1200 W
Alla generatorer är steglöst justerbara från 0 – 100%
Vakuumpump
– I olika storlekar och från olika tillverkare (vid behov med aktivt kolfilter)
Fler alternativ
Reservdelssatser, tryckmätare, korrosiv gasversion, gasflaska, tryckreducerare, faraday-box, polymerisationsutrustning, testbläckset, oxygengenerator, långsam ventilation av vakuumkammaren, långsam nedpumpning av vakuumkammaren, underhåll/service, dokumentation, installation på plats.
