Diener Tetra 45

Tetra 45 plasmasystem kan kombineras i olika varianter på ett modulärt sätt. Nedan hittar du en översikt över de vanligaste alternativen för Tetra 45 plasmasystem.

Kammaren med 125 mm höjd och 572 mm bredd är särskilt lämplig för stora komponenter. Eftersom kammaren är tillverkad av extruderade aluminiumprofiler kan längden justeras flexibelt.

  • Analys (SEM, TEM)
  • Arkeologi
  • Fordon
  • Biovetenskap
  • Elastomer-teknik
  • Elektroteknik
  • Elektronmikroskopi
  • Finmekanik
  • Forskning och utveckling
  • Halvledarteknik
  • Produktion av små serier
  • Plastteknik
  • Medicinsk teknik
  • Teknik för mikrosystem
  • Solcellsteknik
  • Textil teknologi

Plasmaprocess

Rengöring
Ytaktivering
Etsning
Plasmapolymerisering


Grundläggande konfiguration

– Höljet varierar beroende på komponenter/tillval
– Kammarvolym: beroende av kammarlängden
– Strömförsörjning: Spänningsförsörjning 230 V eller 400 V/3 faser


Gasförsörjning

– Massflödesregulator (MFC)


Vakuumkammare

Rostfritt stål
rektangulärt med gångjärnsdörr
(ca B 572 mm x H 125 mm x D varierande)


Laddas med

Bricka (tillval: vattenkyld), platta i aluminium eller rostfritt stål.


Styrning

– Grundläggande datorkontroll (Microsoft Windows CE)
– Fullständig datorkontroll (Microsoft Windows 10 IoT)


Tryckmätning

– Pirani-sensor
– Kapacitetstryckmätare (för korrosiv gasversion)


Timer

– Digital


Generatorer

Frekvenser:

  • 80 kHz: effekt 1000 W eller 3000 W
  • 13,56 MHz: effekt 0 – 300 W; 0 – 600 W
  • 2,45 GHz: effekt 0 – 600 W; 0 – 1200 W

Alla generatorer är steglöst justerbara från 0 – 100%


Vakuumpump

– I olika storlekar och från olika tillverkare (vid behov med aktivt kolfilter)


Fler alternativ

Reservdelssatser, tryckmätare, korrosiv gasversion, gasflaska, tryckreducerare, faraday-box, polymerisationsutrustning, testbläckset, oxygengenerator, långsam ventilation av vakuumkammaren, långsam nedpumpning av vakuumkammaren, underhåll/service, dokumentation, installation på plats.