Diener Femto

Femto plasmasystem kan kombineras i olika varianter på ett modulärt sätt. Nedan hittar du en översikt över de vanligaste alternativen med Femto plasmasystem. Femto plasmasystem används främst inom följande sektorer:

  • mindre serieproduktion
  • analys (SEM, TEM)
  • medicinteknik
  • sterilisering
  • forsknings- och utvecklingsavdelningar
  • arkeologi
  • textilteknik
  • plastteknik
  • fordonsindustri
  • halvledarteknik
  • mikrosystemteknik
  • sensorisk teknik

Plasmaprocess

Rengöring

Ytaktivering

Etsning

Plasmapolymerisering


Gasförsörjning

  • Nålventil
  • Mass-Flow-Controller (MFCs)


Grundläggande konfiguration

  • Höljena varierar beroende på komponenter/tillval
  • Kammarvolym: beroende på version, 1,9 till 6 liter
  • Spänning: 230 V för bordsenheter, 400 V / 3 faser för fristående enheter

Gasförsörjning

  • Nålventil
  • Mass-Flow-Controller (MFCs)

Vacuumkammare

 

Rostfritt stål

rund med täcklock (ca ∅ 100 mm, L 278 mm eller L 600 mm) eller
rektangulär gångjärnsdörr (ca B 103 x D 285 x H 103)

Aluminium
rektangulär gångjärnsdörr (B 110 x H 120 x D 300)

Kvartsglas (UHP)
runt med lock eller med gångjärnsdörr (ca ∅ 95 mm, L 280 mm eller L 600 mm)

– Borosilikatglas (UHP)
runt med lock eller med gångjärnsdörr (ca ∅ 95 mm, L 280 mm eller L 600 mm)


Laddas med

Bricka (tillval: vattenkyld), kvartsglasbåt,
roterande trumma för pulver, roterande trumma för bulkmaterial,
aluminiumplatta, platta av rostfritt stål,
platta av borosilikatglas, platta av kvartsglas


Elektroder

– En eller flerskikts
– RIE – elektrod


Styrning

– Halvautomatisk
– Grundläggande PC-kontroll (Microsoft Windows CE)
– Full PC-kontroll (Windows 10 IoT)


Timer

– Digital


Generatorer

Frekvenser:
40 kHz: Effekt 0 – 100 W; 0 – 1000 W
100 kHz: effekt 500 W
80 kHz: effekt 1000 W
13.56 MHz: Effekt 0 – 200 W
2.45 GHz: Effekt 0 – 100 W; 0 – 300 W

Alla generatorer är steglöst justerbara från 0 – 100%


Vacuumpump

I olika storlekar och från olika tillverkare (vid behov med aktivt kolfilter).


Fler alternativ

Reservdelssats, tryckmätare, korrosiv gasdesign, gasflaskor, tryckreducerare, värmeplatta, temperaturdisplay, uppvärmningsbar kammare, Faraday-bur, plasmapolymerisationstillbehör, testbläck, syregenerator, långsam ventilation, långsam avpumpning, TEM-provhållare fläns, underhåll/service, dokumentation på lokalt språk, installation på plats inkl. utbildning. Ytterligare alternativ tillgängliga på begäran.