Diener Femto
Femto plasmasystem kan kombineras i olika varianter på ett modulärt sätt. Nedan hittar du en översikt över de vanligaste alternativen med Femto plasmasystem. Femto plasmasystem används främst inom följande sektorer:
- mindre serieproduktion
- analys (SEM, TEM)
- medicinteknik
- sterilisering
- forsknings- och utvecklingsavdelningar
- arkeologi
- textilteknik
- plastteknik
- fordonsindustri
- halvledarteknik
- mikrosystemteknik
- sensorisk teknik
Plasmaprocess
Gasförsörjning
- Nålventil
- Mass-Flow-Controller (MFCs)
Grundläggande konfiguration
- Höljena varierar beroende på komponenter/tillval
- Kammarvolym: beroende på version, 1,9 till 6 liter
- Spänning: 230 V för bordsenheter, 400 V / 3 faser för fristående enheter
Gasförsörjning
- Nålventil
- Mass-Flow-Controller (MFCs)
Vacuumkammare
– Rostfritt stål
rund med täcklock (ca ∅ 100 mm, L 278 mm eller L 600 mm) eller
rektangulär gångjärnsdörr (ca B 103 x D 285 x H 103)
– Aluminium
rektangulär gångjärnsdörr (B 110 x H 120 x D 300)
– Kvartsglas (UHP)
runt med lock eller med gångjärnsdörr (ca ∅ 95 mm, L 280 mm eller L 600 mm)
– Borosilikatglas (UHP)
runt med lock eller med gångjärnsdörr (ca ∅ 95 mm, L 280 mm eller L 600 mm)
Laddas med
Bricka (tillval: vattenkyld), kvartsglasbåt,
roterande trumma för pulver, roterande trumma för bulkmaterial,
aluminiumplatta, platta av rostfritt stål,
platta av borosilikatglas, platta av kvartsglas
Elektroder
– En eller flerskikts
– RIE – elektrod
Styrning
– Halvautomatisk
– Grundläggande PC-kontroll (Microsoft Windows CE)
– Full PC-kontroll (Windows 10 IoT)
Timer
– Digital
Generatorer
Frekvenser:
40 kHz: Effekt 0 – 100 W; 0 – 1000 W
100 kHz: effekt 500 W
80 kHz: effekt 1000 W
13.56 MHz: Effekt 0 – 200 W
2.45 GHz: Effekt 0 – 100 W; 0 – 300 W
Alla generatorer är steglöst justerbara från 0 – 100%
Vacuumpump
I olika storlekar och från olika tillverkare (vid behov med aktivt kolfilter).
Fler alternativ
Reservdelssats, tryckmätare, korrosiv gasdesign, gasflaskor, tryckreducerare, värmeplatta, temperaturdisplay, uppvärmningsbar kammare, Faraday-bur, plasmapolymerisationstillbehör, testbläck, syregenerator, långsam ventilation, långsam avpumpning, TEM-provhållare fläns, underhåll/service, dokumentation på lokalt språk, installation på plats inkl. utbildning. Ytterligare alternativ tillgängliga på begäran.
