Plasmaeffekt
Plasmaeffekt
Följande är effekterna av ett tekniskt plasma:
- Stimulerade atomer, radikaler och joner orsakar mycket effektiva reaktioner med nästan alla substratmaterial på grund av deras höga reaktivitet. Denna effekt är primärt ansvarig för plasmaetsning, plasmarening och plasmapolymerisation.
- Joner som kan accelereras av ett elektriskt fält kan agera liknande sandblästring i mikroskopisk dimension på grund av deras höga kinetiska energi. Denna effekt är ansvarig för plasmarening, för plasmaetsning genom mikrosandblästring och för anisotrop jonetsning.
- Högenergi UV-strålning genereras genom rekombination av joner med elektroner. Denna högenergetiska strålning knäcker organiska molekyler och producerar radikaler som är mest effektiva i kemiska reaktioner.