Diener Pico

Pico plasmasystem kan kombineras i olika varianter på ett modulärt sätt. Nedan hittar du en översikt över de vanligaste alternativen med Pico plasmasystem. Pico plasmasystem används främst inom följande sektorer:

  • Analytics (SEM, TEM)
  • Arkeologi
  • Bil
  • Forsknings- och utvecklingsavdelningar
  • Halvledarteknik
  • Liten satsproduktion
  • Plastteknik
  • Medicinsk teknik
  • Mikrosystemteknik
  • Sensorteknik
  • Sterilisering
  • Textilteknik

Plasmaprocess

Rengöring

Ytaktivering

Etsning

Plasmapolymerisering


Grundläggande konfiguration

– Höljena varierar beroende på komponenter/tillval
– Kammarvolym: beroende på version 4 – 15 liters
– Spänning: 230 V för bordsenheter, 400 V / 3 faser för fristående enheter.


Gasförsörjning

  • Nålventil
  • Mass-Flow-Controller (MFCs)

Vacuumkammare

Rostfritt stål
rund med täcklock
(ca. Ø 150 mm, L 320mm eller L 600 mm) eller
rektangulär gångjärnsdörr
(ca. W 160 x H 160 x D 325 mm eller 600 mm)

Aluminium
rektangulär gångjärnsdörr
(ca. Ø 160 mmx160 mm, L 325 mm eller L 600 mm)

Kvartsglas (UHP)
rund med täcklock eller rektangulär gångjärnsdörr
(ca. Ø 130 mm, L 300 mm eller L 600 mm)

Borosilikatglas (UHP)
rund med täcklock eller rektangulär gångjärnsdörr
(ca. Ø 130 mm, L 300 mm eller L 600 mm)


Laddas med

Bricka (tillval: vattenkyld), kvartsglasbåt,
roterande trumma för pulver, roterande trumma för bulkmaterial,
aluminiumplatta, platta av rostfritt stål,
platta av borosilikatglas, platta av kvartsglas


Elektroder

– En eller flerskikts
– RIE – elektrod


Styrning

– Halvautomatisk
– Grundläggande PC-kontroll (Microsoft Windows CE)
– Full PC-kontroll (Windows 10 IoT)


Tryckmätning

– Pirani
– Baratron (för korrosiv gasversion)


Timer

– Digital


Generatorer

Frekvenser:

– 40 kHz: effekt 0 – 200 W; 0 – -1000 W

– 100 kHz: effekt 500 W

– 80 kHz: effekt 1000 W

– 13.56 MHz: effekt 0 – 100 W; 0 – 300 W

– 2.45 GHz: effekt 0 – 300 W

Alla generatorer är steglöst justerbara från 0 – 100 %


Vacuumpump

– I olika storlekar och från olika tillverkare (vid behov med aktivt kolfilter)


Fler alternativ

Reservdelsset, tryckmätare, korrosiv gasversion, gasflaska, tryckreducerare, faraday-låda, polymerisationsutrustning, testbläcksats, syregenerator, långsam ventilation av vakuumkammaren, långsam nedpumpning av vakuumkammaren, underhåll/service, dokumentation på riksspråk, installation på plats.